最近幾年，中國半導體設備廠商不斷通過各大晶圓廠的產線驗證，進入了商業(yè)化供貨階段舶衬。伴隨著2022年菌渐，中芯國際臨港12英寸晶圓代工生產線項目順利封頂四洗、上海積塔先進車規(guī)級芯片擴產項目的開工卿城、華潤微電子重慶12英寸晶圓制造生產線以及先進功率封測基地實現通線等晶圓項目的持續(xù)推進部服。國產半導體設備供應商在企業(yè)營收产场、設備中標等方面均迎來良好的增長亡谭。

半導體設備國產替代的黃金浪潮已然開啟，晶圓廠擴產潮也使得多家設備廠商在2022年度經營業(yè)績表現亮眼惧梦。

北方華創(chuàng)同比增長94.91%—141.32%

1月11日奶堵，北方華創(chuàng)公告，預計2022年度凈利潤21億元-26億元眶侣，同比增長94.91%—141.32%啸业。公告顯示，2022年度公司克服了供應鏈等不利因素的影響夷著，保障了生產經營的正常運行宿柜，實現客戶訂單有序交付，全年電子工藝裝備和電子元器件業(yè)務經營業(yè)績均實現了持續(xù)增長望星。北方華創(chuàng)主營業(yè)務包括電子工藝裝備和電子元器件霹补。電子工藝裝備主要應用于集成電路、先進封裝浸萤、半導體照明十匆、新型顯示等領域。

盛美上海同比增長125.35%—170.42%

1月30日漱竖，盛美上海發(fā)布業(yè)績預告禽篱，預計2022年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤人民幣6億元-7.2億元，較上年同期相比馍惹，將增加約3.34億元-4.54億元躺率，同比增長125.35%—170.42%。業(yè)績變動主要原因是万矾，受益于中國半導體行業(yè)設備需求的不斷增加悼吱，銷售訂單持續(xù)增長；新客戶拓展良狈、新市場開發(fā)等方面均取得一定成效后添；新產品得到客戶認可，訂單量穩(wěn)步增長薪丁。盛美上海主營業(yè)務為半導體清洗設備遇西。

長川科技同比增長106.20%—138.27%

1月19日，長川科技披露2022年度業(yè)績預告严嗜，公司預計2022年度實現歸屬于上市公司股東的凈利潤4.50億元-5.20億元粱檀，同比增長106.20%—138.27%。公司經營業(yè)績較上年同期上升的主要變動原因包括：業(yè)務規(guī)模的穩(wěn)步擴大以及各類產品收入結構優(yōu)化漫玄，高端品類收入占比持續(xù)上升等牙饲。長川科技主營產品包括測試機、分選機猬笑、探針臺舀鼎、AOI設備和自動化設備。

中微公司同比增加6.78%—18.64%

1月30日呜颓，中微半導體設備（上海）股份有限公司發(fā)布公告稱园桑，公司預計2022年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤為10.8億元—12億元，同比增加6.78%—18.64%颗酷。公告稱合圃，公司的等離子體刻蝕設備在國內外持續(xù)獲得更多客戶的認可，市場占有率不斷提高戏丽，在國際最先進的5納米芯片生產線及下一代更先進的生產線上均實現了多次批量銷售砂猿。中微公司主營業(yè)務是聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備耙屹、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發(fā)铲醉、生產和銷售。

華海清科同比增長120.4%—160.75%

1月19日抗俄，華海清科發(fā)布業(yè)績預告脆丁，公司預計2022年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤為4.37億-5.17億元，較上年同期相比增加約2.39億元-3.19億元动雹，同比增長120.4%—160.75%槽卫。報告顯示公司全年CMP設備及配套服務跟压、晶圓再生業(yè)務等都實現了持續(xù)增長。華海清科主營業(yè)務包括CMP設備歼培、減薄設備震蒋、供液系統、晶圓再生躲庄、關鍵耗材與維保服務等查剖。

半導體設備廠商在去年得以凈利潤大增，主要受益于國內半導體行業(yè)良好的發(fā)展態(tài)勢噪窘，國內半導體行業(yè)設備需求增加笋庄。以中芯國際為例，目前其在上海倔监、北京直砂、深圳、天津各有一座12英寸晶圓廠在建中踱封。中芯國際晶圓廠擴產客净，近八成資本開支將用到購買設備上。另外脏诈，隨著創(chuàng)新芯片的制程驅動冀烘，單位產能投資額將逐步提升，14納米技術節(jié)點的產線投資額是90納米的3.3倍左右锯政，3納米技術節(jié)點的產線投資額是14納米的3.4倍左右纬惶。這些驅動因素都給國產半導體設備、材料帶來新的增量市場尚档，已經具有成熟產品的上市公司迎來強勁的增長機遇诽闲。

根據廣發(fā)證券統計數據顯示，2022年招標量規(guī)模顯著彩梅，以積塔科请、華虹、燕東招標為主巩恼。2022 年峡竣，統計樣本中的晶圓產線合計招標 1060 項，其中量九，積塔适掰、華虹、燕東的設備招標量位居前三荠列。整體而言类浪，招標以量測設備、沉積類設備和刻蝕設備為主。其中费就，2022 年诉瓦，積塔合計招標 502 項，以量測力细、沉積類垦搬、刻蝕設備居多；華虹合計招標 263 項艳汽，以量測、檢測对雪、熱處理設備居多河狐；中芯合計招標 148 項基建項目；長鑫合計招標 12 項基建項目树颖。

中標方面若战，2022 年，統計樣本中的晶圓產線合計中標 1040 臺設備效聂，以量測瞪澈、沉積類、熱處理設備居多枷澜；國產設備整體中標比例約30%脓额，其中，硅片再生跷缀、氣液系統搬混、去膠、濕法腐蝕那捍、PVD 設備的國產中標比例較高拾点。

其中，國內半導體設備廠商合計中標 231 臺設備槐滔，北方華創(chuàng)勃痴、創(chuàng)微微電子、中微公司热康、萬業(yè)企業(yè)中標量領先沛申，分別中標 64 臺、28 臺褐隆、22 臺污它、21 臺設備。2022 年庶弃，國內半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環(huán)節(jié)的中標比例為 26%衫贬。盛美上海的硅片再生設備、北方華創(chuàng)的 PVD 設備和氧化設備、創(chuàng)微微電子的濕法腐蝕設備在對應工藝環(huán)節(jié)的中標比例領先固惯，分別為 67%梆造、50%、50%葬毫、47%镇辉。

如此看來，國內各大半導體設備廠商在項目推進讥捧、設備交付娶恕、新品研發(fā)等方面均取得進展，正在提高國產率的道路上向前沖鋒锤楷。

根據SEMI數據顯示篓释，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%间皮。國內廠商在檢測設備采璧、刻蝕設備、PVD和CVD設備罩音、氧化擴散設備等已經實現了部分國產替代馋顶，特別是檢測設備替代速度較快。去膠設備國產采用率已達91%试旬。屹唐股份在國內半導體去膠設備領域中占主導地位麻彬。

刻蝕設備方面，中微公司介質刻蝕已經進入臺積電7納米/5納米產線注寥，是唯一一家進入臺積電產線的國產刻蝕設備生產商窜无；北方華創(chuàng)在ICP刻蝕領域優(yōu)勢顯著，覆蓋8 英寸适袜、12 英寸55-28納米制程柄错，已進入中芯國際14納米產線驗證階段；屹唐股份干法刻蝕設備可用于65納米—5納米邏輯芯片苦酱。

清洗設備方面售貌，國產替代率為 20%左右。主要是盛美上海疫萤、北方華創(chuàng)颂跨、至純科技、芯源微貢獻的設備收入占比扯饶。

薄膜沉積設備方面恒削，國內廠商錯位發(fā)展，拓荊科技引領PECVD國產化尾序，已開展10納米及以下制程產品驗證測試钓丰。北方華創(chuàng)PVD優(yōu)勢顯著躯砰，中微公司的MOCVD設備份額全球前三，共同受益國產化率提升携丁。

當前光刻琢歇、涂膠顯影設備國產化率接近為0，上海微電子拿详、芯源微分別為國內目前唯一供應商拭牌。

離子注入設備的壁壘超高且國產化率極低，主要依賴萬業(yè)企業(yè)（凱世通）和中科信户克，兩家公司目前均有離子注入機臺導入客戶驗證方占，有望彌補國內半導體設備行業(yè)的短板。2022年1-10月份華虹無錫和積塔半導體招標中输僻，離子注入機的國產化率僅為3%税则，國產替代空間較大。

分制程來看值唉，SEMI數據顯示，目前在28納米及以上領域疮肿，中國半導體設備廠商已經基本實現了全覆蓋港赂，國產化率達到了80%以上。而在14納米工藝上家么，中國的半導體設備廠商涉功，也實現了50%以上的覆蓋，國產化率可能達到了20%以上略吨。目前在14納米以下集币，國產化率還非常低，可能只有10%左右翠忠。中國半導體設備在中高制程的能力欠缺還較為嚴重鞠苟。

國產半導體設備廠商面對的不僅有機遇，在這背后還有更大的挑戰(zhàn)秽之。

從半導體設備的世界格局來看当娱，幾乎被美、日考榨、荷所壟斷跨细，核心設備如光刻、刻蝕河质、PVD冀惭、CVD、氧化/擴散等設備的Top3市占率普遍在90%以上掀鹅。然而近期散休，美國、荷蘭和日本三國的國家安全事務官員進行了高級別談判，就限制向中國出口一些先進的芯片制造設備達成協議锁澡，將把美國于2022年10月采取的一些出口管制措施擴大到荷蘭阿斯麥埋吊、日本東京電子和尼康等公司。具體細則尚未公開神翁。

中國半導體產業(yè)的國產化“知易行難”愈苛。除了技術差距和美國的限制之外，在投資誓贝、人才伶门、市場競爭、戰(zhàn)略決心和耐心等方面剑瞻，中國都面臨著極大的挑戰(zhàn)棵擂。不過，中國半導體設備零部件廠商目前營收規(guī)模較小舅兑，正在延續(xù)海外龍頭廠商產品品類和應用領域擴張的成長路徑拙达，隨著國產半導體設備廠商的快速成長，以及通過進入海外半導體設備廠商供應鏈腐蛀。雖然目前國內半導體設備零部件企業(yè)處于國產替代早期階段俭驮，但國內半導體設備零部件廠商未來有望持續(xù)高速成長。